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硅晶片抛光用高纯度大粒径硅溶胶的研究

郑典模 , 潘鹤政 , 屈海宁 , 陈骏驰 , 彭静红

硅酸盐通报

本文采用硅粉水解-胶粒整理法制备硅晶片抛光所用硅溶胶,考察了单质硅粉的加入量、反应时间、反应温度、硅溶胶底液浓度、催化剂种类及用量对硅溶胶胶粒平均粒径增长的影响,得到最佳工艺条件:单质硅粉的最佳加入量为25 g、反应时间7h、反应温度80℃、硅溶胶底液的质量浓度为8%、选稀氨水为催化剂、用量为12 mL,在此条件下可制备得到平均粒径为20 nm的硅溶胶产品.经过多次粒子生长可以制备得到适用于硅晶片抛光产业的高纯度大粒径硅溶胶.

关键词: 硅晶片抛光 , 高纯度 , 大粒径 , 硅溶胶

单分散大粒径硅溶胶的制备

周波 , 张春芳 , 白云翔 , 顾瑾 , 孙余凭

硅酸盐通报

采用单质硅粉水解法,经过初级粒子制备和粒子多级生长,制备了单分散的大粒径硅溶胶,考察了反应温度、反应时间、硅粉添加量、氢氧化钠浓度等因素对粒径及PDI的影响.最优实验条件为:反应温度70℃、反应时间12h、硅粉添加量21 g、氢氧化钠浓度0.5wt%.最优条件下的硅溶胶粒径为20 nm,通过粒径的多次生长,制备出粒径为90 nm的硅溶胶,且呈单分散性.

关键词: 硅粉水解 , 单分散 , 大粒径 , 硅溶胶

大粒径SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石试验研究

王洁 , 袁巨龙 , 吕冰海 , 吕迅 , 曹霖霖 , 彭超飞

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.04.042

目的 验证大粒径(>30μm)SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石晶片的有效性,优化磨具配方,为实现蓝宝石晶片高效、高质量、低成本加工提供有效参考.方法 制作不同配方的氯氧镁结合剂SiO2固结磨具加工蓝宝石,以去除率、表面粗糙度为评价指标,研究磨粒粒度、结合剂比例、磨粒含量对加工效果的影响.结果 6种不同粒径(均>30μm)的SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石,表面粗糙度均有改善,粒径越小,改善效果越好.结合剂中,活性MgO、MgCl2和H2O三者的摩尔比会影响去除率和粗糙度.磨具磨粒的含量高,去除率高,粗糙度小.结论氯氧镁结合剂中,活性MgO:MgCl2:H2O的摩尔比为7:1:16,325#SiO2为磨粒,磨粒质量占结合剂质量的60%,制作磨具加工蓝宝石,转速210 r/min,加载0.4 MPa,加工3 h,去除率为平均17μm/h,表面粗糙度Ra由初始平均345 nm改善至平均9 nm.

关键词: SiO2 , 氯氧镁结合剂 , 固结磨具 , 大粒径 , 蓝宝石 , 固相反应

大颗粒草酸钕热分解特性及动力学研究

黄昕 , 李琴 , 杨明 , 罗洋 , 叶信宇 , 杨幼明

中国稀土学报 doi:10.11785/S1000-4343.20160113

随着稀土新材料的发展,大颗粒Nd2O3在高新技术领域有着广泛的用途.研究大颗粒草酸钕前驱体分解生成Nd2O3的过程,可为制备性能优异的Nd2O3产品提供有益的借鉴.使用TG,DTG,DTA研究了大颗粒草酸钕的热分解过程,采用Ozawa法、Starink法计算活化能E值,同时利用Coats-Redfem积分法推断反应机制函数.结果表明:当升温速率为10 ℃·min-1时,室温加热到397℃,草酸钕完全失去结晶水;397~ 584℃,无水草酸钕分解生成Nd2O2C03;584 ~770℃,Nd2 O2CO3分解为Nd2 O3.提高升温速率,TG,DTG,DTA三条曲线都向高温侧移动;升温速率越高,草酸钕达到相同热解失重率所需的温度越高,DTG曲线最高升温速率下对应的失重率明显增加,DTA曲线峰面积明显增大且同一温度下焓变的绝对值变大;无水草酸钕热分解生成Nd2O2CO3的反应活化能为130.10~ 187.8 kJ·md-1,反应过程符合三级化学反应模型,Nd2 O2 CO3热分解生成Nd2O3的反应活化能为57.40~81.83kJ·mol-1.

关键词: 氧化钕 , 大粒度 , 热分解 , 动力学

大颗粒氧化钆的制备及物理性能研究

王士智 , 赵永志 , 郝先库 , 张瑞祥 , 刘海旺 , 马显东 , 胡珊珊

稀土

碳酸氢铵、氨水和去离子水按一定化学计量比配制碳酸氢铵饱和溶液,在室温下,将氯化钆溶液加入到饱和溶液中,得到氯化钆、碳酸氢铵和氨水的混合溶液,再向混合溶液中加入不同量的双氧水,立即有沉淀生成,沉淀经过陈化、过滤、洗涤,得到过氧碳酸钆沉淀,过氧碳酸钆在800℃~ 1200℃灼烧,制备出大颗粒氧化钆.用XRD衍射、粒度分析、流动性指数、及扫描电镜对所得大颗粒氧化钆进行了分析.研究结果表明,双氧水的加入量及灼烧温度对制备的氧化钆粒度影响较大,制备的大颗粒氧化钆中心粒径为26μm~240 μm,属于立方晶系的体心立方结构,流动性好,形貌为薄片叠成的花瓣状.

关键词: 大颗粒 , 氧化钆 , 双氧水 , 碳酸氢铵

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